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百級無塵烘箱測控系統(tǒng)及安全保護措施

發(fā)布時間: 2017-06-21  點擊次數(shù): 2265次
   百級無塵烘箱測控系統(tǒng)及安全保護措施
  
  百級無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影
  
  后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非
  
  易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
  
  百級無塵烘箱測控系統(tǒng)及安全保護措施:
  
  1、控制儀表:進口數(shù)顯溫度控制器,PID調節(jié),控制精度0.1℃;
  
  2、溫度測量傳感器:Pt100鉑電阻;
  
  3、控制系統(tǒng):主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件;
  
  4、超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng),保證試驗品的安全;
  
  百級無塵烘箱產品特點
  
  ●結構材料:內外全部采用SUS304#不銹鋼板制作無塵無污染,耐酸堿腐蝕環(huán)保,美觀大方
  
  ●保溫材料:使用高密度進口巖棉,雙層保溫層,爐門采用高溫硅膠緊迫,保溫、密封性能好。
  
  ●溫控系統(tǒng):采用RKC智能型溫控器PID自動演算,配合SSR固態(tài)斷電輸出,確保控制溫度。
  
  ●運風方式:左出風,右邊回風循環(huán);特殊風道設計,爐內溫差均勻性好。
  
  ●安全裝置:電機過載保護,漏電保護,相序保護,雙重防超溫保護裝置;所有發(fā)熱管與爐體外殼隔絕緣保證設備使用安全。
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